@phdthesis{oai:ir.kagoshima-u.ac.jp:00013507, author = {小原, 裕也 and Kobaru, Yuya}, month = {2017-04-11, 2017-04-11, 2017-04-17, 2017-04-17}, note = {博士論文全文, 博士論文要旨, 最終試験結果の要旨, 論文審査の要旨}, school = {鹿児島大学}, title = {R刃工具を用いた単結晶シリコン円板の精密切削加工に関する研究}, year = {}, yomi = {コバル, ユウヤ} }