WEKO3
アイテム
超高速回転基板上のスパッタ粒子衝突過程における気相-固相界面の連続性に関する研究
http://hdl.handle.net/10232/22487
http://hdl.handle.net/10232/22487ba06ec22-9a08-4e87-bc1a-7524399b86ea
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
rikouron45.pdf (210.3 kB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2015-02-23 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | A study on continuity of collision processes of sputtered particles in gas-solid interface on the substrates rotating with super-high-speed | |||||
| タイトル言語 | en | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 超高速回転基板上のスパッタ粒子衝突過程における気相-固相界面の連続性に関する研究 | |||||
| タイトル言語 | ja | |||||
| 著者 |
馬渕, 正勝
× 馬渕, 正勝 |
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| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
| 資源タイプ | thesis | |||||
| 作成日 | ||||||
| 日付 | 2007-03-16 | |||||
| 日付タイプ | Issued | |||||
| NDC | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 400 | |||||
| ファイル（説明） | ||||||
| 内容記述 | 学位論文の要旨 | |||||
| 公開者・出版者 | ||||||
| 出版者 | 鹿児島大学 | |||||
| 出版者言語 | ja | |||||
| 公開者・出版者 | ||||||
| 出版者 | Kagoshima University | |||||
| 出版者言語 | en | |||||
| 学位名 | ||||||
| 学位名の言語 | ja | |||||
| 学位名 | 博士(理学) | |||||
| 学位名 | ||||||
| 学位名の言語 | en | |||||
| 学位名 | Doctor of Philosophy in Engineering | |||||
| 学位授与機関名 | ||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||
| 学位授与機関識別子 | 17701 | |||||
| 学位授与機関名の言語 | ja | |||||
| 学位授与機関名 | 鹿児島大学 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2007-03-16 | |||||
| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 乙理工論第45号 | |||||
