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アイテム
真空蒸着によるアルミニウム薄膜の形態制御技術の開発と各種機能素子への応用
http://hdl.handle.net/10232/24190
http://hdl.handle.net/10232/241902d2e12e7-cdb9-4ad0-b718-d57b0bdd2f86
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
23550100_肥後盛秀.pdf (360.4 kB)
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| Item type | 研究報告書 / Research Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2015-05-22 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 真空蒸着によるアルミニウム薄膜の形態制御技術の開発と各種機能素子への応用 | |||||
| タイトル言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Development of Morphology Control of Aluminum Films by Vacuum Evaporation and Application to Various Functional Devices | |||||
| タイトル言語 | en | |||||
| 著者 |
肥後, 盛秀
× 肥後, 盛秀 |
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| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題言語 | ja | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 真空蒸着 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題言語 | ja | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | アルミニウム薄膜 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題言語 | ja | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 表面形態 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題言語 | ja | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 機能素子 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題言語 | ja | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 交流インピーダンス法 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題言語 | ja | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 表面積 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題言語 | ja | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 面積プラズモンセンサー | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題言語 | ja | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | エタノール添加ガソリン | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws | |||||
| 資源タイプ | research report | |||||
| 要約 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 2011-2013年度科学研究費助成事業（基盤研究（C））研究成果報告書 課題番号：23550100 研究代表者：肥後盛秀（鹿児島大学・理工学研究科・教授） | |||||
| 内容記述言語 | ja | |||||
| 要約 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 真空蒸着法を用いて、電解コンデンサーや触媒などの機能素子のモデルとなる大きな表面積を持つアルミニウム薄膜を作製する新しい技術を開発した。460～520℃のアルミニウム基盤への蒸着により、孤立し直立した直径約1μmの円柱状の微細構造のアルミニウム薄膜を作製した。交流インピーダンス法を用いて電気二重層の容量を測定し平坦なアルミニウム基盤と比較したところ、表面積が約2.6倍増加していた。ガラス棒にアルミニウムを15nm蒸着し、波長400nmの発光ダイオードとフォトダイオードを用いる表面プラズモン共鳴センサーを用いて、エタノール添加ガソリン中のエタノール濃度の測定を行った。 | |||||
| 内容記述言語 | ja | |||||
| 要約 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | A new technique for preparing aluminum films having large surface areas and models for functional devices such as electrolytic capacitors or catalysts by vacuum evaporation was developed. The evaporation of aluminum onto heated aluminum substrates at temperatures between 460 and 520 degrees C gave the aluminum films having an isolated and columnar microstructure of standing grains with a diameter of about 1 micrometer. The comparison between the electric double-layer capacities of the aluminum films having the microstructure and the smooth aluminum substrates obtained from AC impedance measurements showed about a 2.6 times increase in the surface area. Concentrations of ethanol in gasoline were measured using an aluminum-deposited surface plasmon resonance-based glass rod sensor. The sensor has the evaporated aluminum film with a thickness of 15 nm and with a light-emitting diode at a wavelength of 400 nm and a photodiode. | |||||
| 内容記述言語 | en | |||||
| 作成日 | ||||||
| 日付 | 2014-05-29 | |||||
| 日付タイプ | Collected | |||||
| 出版タイプ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| NDC | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 549 | |||||
| 公開者・出版者 | ||||||
| 出版者 | 鹿児島大学 | |||||
| 出版者言語 | ja | |||||
| 公開者・出版者 | ||||||
| 出版者 | Kagoshima University | |||||
| 出版者言語 | en | |||||
| 科研費番号 | ||||||
| 科研費番号 | 23550100 | |||||
