| Item type |
紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) |
| 公開日 |
2015-06-17 |
| タイトル |
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タイトル |
直流ゲッタースパッタリングによるNb-Ge薄膜の製作（I） |
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タイトル言語 |
ja |
| タイトル |
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タイトル |
THE PREPARATION OF Nb-Ge FILMS USING DC GETTER SPUTTERING (I) |
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タイトル言語 |
en |
| 著者 |
白樂, 善則
坂元, 渉
大串, 哲彌
沼田, 正
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| 言語 |
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言語 |
jpn |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
| 要約 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
A dc getter sputtering system was designed which eliminates the need for ultrahigh vacuum in preparing thin films of materials sensitive to gaseous impurities. This sputtering technique uses the "gettering action" of part of the sputtered atoms to purify an Ar gas atmosphere in the sputtering inner chamber and can very decrease reactive gases such as H_2O, O_2 and N_2. We used this method for preparing superconducting Nb-Ge films having now the highest transition temperature. The properties of these films are studied and the superconducting transition onset temperature up to~18.5K for Nb-Ge films was obtained. |
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内容記述言語 |
en |
| 収録雑誌名 |
ja : 鹿児島大学工学部研究報告
en : The research reports of the Faculty of Engineering, Kagoshima University
巻 19,
p. 105-109,
発行日 1977-11
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| 作成日 |
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日付 |
1977-11 |
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日付タイプ |
Issued |
| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
PISSN |
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ISSN |
0451212X |
| NII書誌ID（雑誌） |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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NC ID |
AN00040363 |
| 出版タイプ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
| NDC |
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主題Scheme |
NDC |
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主題 |
540 |
| 公開者・出版者 |
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出版者 |
鹿児島大学 |
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出版者言語 |
ja |
| 公開者・出版者 |
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出版者 |
Kagoshima University |
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出版者言語 |
en |
AN00040363_v19_p105-109.pdf (8.6 MB)
