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  1. 掲載誌一覧
  2. 鹿児島大学工学部研究報告
  3. vol.23
  1. 工学部
  2. 工学部・紀要論文

液体窒素層内での直流マグネトロンスパッタによるニオブ膜の製作

http://hdl.handle.net/10232/12493
http://hdl.handle.net/10232/12493
a0e5dd63-6004-4809-8fc0-835e047831c1
名前 / ファイル ライセンス アクション
AN00040363_v23_p153-165.pdf AN00040363_v23_p153-165.pdf (3.7 MB)
Item type 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1)
公開日 2012-03-25
タイトル
タイトル Nb Film Produced by D.C. Magnetron Sputtering in Liquid N_2 Vessel
タイトル言語 en
タイトル
タイトル 液体窒素層内での直流マグネトロンスパッタによるニオブ膜の製作
タイトル言語 ja
著者 金子, 与志郎

× 金子, 与志郎

en KANEKO, Yoshiro

ja 金子, 与志郎

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渡辺, 琢美

× 渡辺, 琢美

en WATANABE, Takumi

ja 渡辺, 琢美

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大串, 哲彌

× 大串, 哲彌

en OGUSHI, Tetsuya

ja 大串, 哲彌

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沼田, 正

× 沼田, 正

en NUMATA, Tadashi

ja 沼田, 正

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言語
言語 eng
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ departmental bulletin paper
要約
内容記述タイプ Other
内容記述 Very pure Nb with good crystallinity thin films have been prepared readily by D.C. magnetron sputtering in a vessel containing liquid nitrogen whose outer wall constitutes a sputtering chamber. This was done while the Bell jar was completely separated from the pumping system with the main valve closed fully and the vessel was acting as a cryo-pump which was full of liquid nitrogen. The sputtering deposition rate of 3000 A/min. was observed and the superconducting and other physical properties of Nb thin films are discussed. The highest ratio (in Japan) of resistance at room temperature to that at 10 K, which shows the purity of metals, was obtained.
内容記述言語 en
収録雑誌名 ja : 鹿児島大学工学部研究報告
en : The research reports of the Faculty of Engineering, Kagoshima University

巻 23, p. 153-165, 発行日 1981-09
作成日
日付 1981-09
日付タイプ Issued
ISSN
収録物識別子タイプ PISSN
ISSN 0451212X
NII書誌ID(雑誌)
収録物識別子タイプ NCID
NC ID AN00040363
出版タイプ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
NDC
主題Scheme NDC
主題 436
公開者・出版者
出版者 鹿児島大学
出版者言語 ja
公開者・出版者
出版者 Kagoshima University
出版者言語 en
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Ver.1 2023-07-25 09:47:02.884156
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