| Item type |
紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) |
| 公開日 |
2012-03-25 |
| タイトル |
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タイトル |
Nb Film Produced by D.C. Magnetron Sputtering in Liquid N_2 Vessel |
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言語 |
en |
| タイトル |
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タイトル |
液体窒素層内での直流マグネトロンスパッタによるニオブ膜の製作 |
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言語 |
ja |
| 著者 |
金子, 与志郎
渡辺, 琢美
大串, 哲彌
沼田, 正
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| 言語 |
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言語 |
eng |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
| 要約(Abstract) |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
Very pure Nb with good crystallinity thin films have been prepared readily by D.C. magnetron sputtering in a vessel containing liquid nitrogen whose outer wall constitutes a sputtering chamber. This was done while the Bell jar was completely separated from the pumping system with the main valve closed fully and the vessel was acting as a cryo-pump which was full of liquid nitrogen. The sputtering deposition rate of 3000 A/min. was observed and the superconducting and other physical properties of Nb thin films are discussed. The highest ratio (in Japan) of resistance at room temperature to that at 10 K, which shows the purity of metals, was obtained. |
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言語 |
en |
| 収録雑誌名 |
ja : 鹿児島大学工学部研究報告
en : The research reports of the Faculty of Engineering, Kagoshima University
巻 23,
p. 153-165,
発行日 1981-09
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| 作成日 |
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日付 |
1981-09 |
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日付タイプ |
Issued |
| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
PISSN |
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収録物識別子 |
0451212X |
| NII書誌ID（雑誌） |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN00040363 |
| 出版タイプ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
| NDC |
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主題Scheme |
NDC |
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主題 |
436 |
| 公開者・出版者 |
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出版者 |
鹿児島大学 |
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言語 |
ja |
| 公開者・出版者 |
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出版者 |
Kagoshima University |
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言語 |
en |
AN00040363_v23_p153-165.pdf (3.7 MB)
