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ハイレートスパッタリング装置の製作
http://hdl.handle.net/10232/12709
http://hdl.handle.net/10232/12709fa55a595-c876-40a7-a630-dc9a63e93648
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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AN00040363_v20_p93-96.pdf (1.1 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2015-06-16 | |||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||
| タイトル | ハイレートスパッタリング装置の製作 | |||||||||||||||||||||
| タイトル言語 | ja | |||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||
| タイトル | THE MANUFACTURE OF THE HIGH RATE SPUTTERING | |||||||||||||||||||||
| タイトル言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 著者 |
鶴丸, 哲哉
× 鶴丸, 哲哉
× 坂元, 渉
× 大串, 哲彌
× 沼田, 正
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| 言語 | ||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||
| 要約 | ||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||||||
| 内容記述 | Usual sputtering methods have a weakpoint that sputtering current is a little and a sticking velocity is low during the deposition process. We have been troubled by low germanium sticking coefficient in producting a Nb_3Ge thin film. Therefore, in order to make it higher, we manufactured the high rate sputtering apparatus wherein a magnetic field is perpendicular to an electric field in contradiction to a parallel electric field in the former. Utilizing this apparatus, we could increase the sputtering current by nearly 2-3×10 times. As a result, germanium sticking coefficicnt was made higher to obtain a stoichi-ometeic Nb_3Ge and also this method was clarified to be very useful in shortening the sputtering time. |
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| 内容記述言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 収録雑誌名 |
ja : 鹿児島大学工学部研究報告 en : The research reports of the Faculty of Engineering, Kagoshima University 巻 20, p. 93-96, 発行日 1978-09 |
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| 作成日 | ||||||||||||||||||||||
| 日付 | 1978-09 | |||||||||||||||||||||
| 日付タイプ | Issued | |||||||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||||||||||
| ISSN | 0451212X | |||||||||||||||||||||
| NII書誌ID（雑誌） | ||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||
| NC ID | AN00040363 | |||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||
| NDC | ||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||||||||||||
| 主題 | 549 | |||||||||||||||||||||
| 公開者・出版者 | ||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 鹿児島大学 | |||||||||||||||||||||
| 出版者言語 | ja | |||||||||||||||||||||
| 公開者・出版者 | ||||||||||||||||||||||
| 出版者 | Kagoshima University | |||||||||||||||||||||
| 出版者言語 | en | |||||||||||||||||||||
