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  1. 掲載誌一覧
  2. 鹿児島大学工学部研究報告
  3. vol.36
  1. 工学部
  2. 工学部・紀要論文

ウェットエッチングにおける感光性樹脂の密着度評価

http://hdl.handle.net/10232/12397
http://hdl.handle.net/10232/12397
0002c138-3723-4b8f-9968-718f6d52b535
名前 / ファイル ライセンス アクション
AN00040363_v36_p101-106.pdf AN00040363_v36_p101-106.pdf (1.7 MB)
Item type 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1)
公開日 2015-04-30
タイトル
タイトル ウェットエッチングにおける感光性樹脂の密着度評価
タイトル言語 ja
タイトル
タイトル Adhesion strength of Photo-resist in Photoetching Process
タイトル言語 en
著者 幡手, 泰雄

× 幡手, 泰雄

ja 幡手, 泰雄

en HATATE, Yasuo

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戸井田, 剛

× 戸井田, 剛

ja 戸井田, 剛

en TOIDA, Go

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上村, 芳三

× 上村, 芳三

ja 上村, 芳三

en UEMURA, Yoshimitsu

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吉澤, 秀和

× 吉澤, 秀和

ja 吉澤, 秀和

en YOSHIZAWA, Hidekazu

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小野, 輝生

× 小野, 輝生

ja 小野, 輝生

en ONO, Teruo

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言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ departmental bulletin paper
要約
内容記述タイプ Other
内容記述 Adhesion strength is one of the most important aspects of water-soluble photo-resist in photo-fabrication techniques. However, no adequate and convenient method to estimate adhesion strength to metal has been proposed. In this study, we have developed a convenient method to evaluate the adhesion strength of water-soluble photo-resist when such a specimen is immersed only into an aqueous hydrochloric acid solution. A specimen covered with casine after the development treatment was used. The testing solution used was 0.5N aqueous hydrochloric acid at 293K. The effects of preparation
conditions in photo-fabrication process on adhesion strength of photo-resist were studied. It was found from the results of measurements with commercial photo-resists that adhesion strength of casine was stronger than that of PVA.
内容記述言語 en
収録雑誌名 ja : 鹿児島大学工学部研究報告
en : The research reports of the Faculty of Engineering, Kagoshima University

巻 36, p. 101-106, 発行日 1994-09
作成日
日付 1994-09
日付タイプ Issued
ISSN
収録物識別子タイプ PISSN
ISSN 0451212X
NII書誌ID(雑誌)
収録物識別子タイプ NCID
NC ID AN00040363
出版タイプ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
NDC
主題Scheme NDC
主題 540
公開者・出版者
出版者 鹿児島大学
出版者言語 ja
公開者・出版者
出版者 Kagoshima University
出版者言語 en
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Ver.1 2023-07-25 09:42:39.536629
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