| Item type |
紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) |
| 公開日 |
2015-04-30 |
| タイトル |
|
|
タイトル |
ウェットエッチングにおける感光性樹脂の密着度評価 |
|
タイトル言語 |
ja |
| タイトル |
|
|
タイトル |
Adhesion strength of Photo-resist in Photoetching Process |
|
タイトル言語 |
en |
| 著者 |
幡手, 泰雄
戸井田, 剛
上村, 芳三
吉澤, 秀和
小野, 輝生
|
| 言語 |
|
|
言語 |
jpn |
| 資源タイプ |
|
|
資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
|
資源タイプ |
departmental bulletin paper |
| 要約 |
|
|
内容記述タイプ |
Other |
|
内容記述 |
Adhesion strength is one of the most important aspects of water-soluble photo-resist in photo-fabrication techniques. However, no adequate and convenient method to estimate adhesion strength to metal has been proposed. In this study, we have developed a convenient method to evaluate the adhesion strength of water-soluble photo-resist when such a specimen is immersed only into an aqueous hydrochloric acid solution. A specimen covered with casine after the development treatment was used. The testing solution used was 0.5N aqueous hydrochloric acid at 293K. The effects of preparation
conditions in photo-fabrication process on adhesion strength of photo-resist were studied. It was found from the results of measurements with commercial photo-resists that adhesion strength of casine was stronger than that of PVA. |
|
内容記述言語 |
en |
| 収録雑誌名 |
ja : 鹿児島大学工学部研究報告
en : The research reports of the Faculty of Engineering, Kagoshima University
巻 36,
p. 101-106,
発行日 1994-09
|
| 作成日 |
|
|
日付 |
1994-09 |
|
日付タイプ |
Issued |
| ISSN |
|
|
収録物識別子タイプ |
PISSN |
|
ISSN |
0451212X |
| NII書誌ID（雑誌） |
|
|
収録物識別子タイプ |
NCID |
|
NC ID |
AN00040363 |
| 出版タイプ |
|
|
出版タイプ |
VoR |
|
出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
| NDC |
|
|
主題Scheme |
NDC |
|
主題 |
540 |
| 公開者・出版者 |
|
|
出版者 |
鹿児島大学 |
|
出版者言語 |
ja |
| 公開者・出版者 |
|
|
出版者 |
Kagoshima University |
|
出版者言語 |
en |
AN00040363_v36_p101-106.pdf (1.7 MB)
